Messgerät in Tischausführung mit Grundplatte aus Granit und separatem Schaltschrank. Alle Achsen sind mit hochgenauen Linearführungen versehen und werden über spielfreie Präzisionsspindeln im Massenschwerpunkt angetrieben. Der Antrieb erfolgt über DC-Servomotoren.
| Messbereich | |
| X | 400 mm |
| Y | 400 mm |
| Z | 200 mm |
| Max. Ladegewicht Glasplatte | 30 kg |
| Messunsicherheit nach VDI/VDE 2617 (L=Messlänge in mm) | |
| 1D X-Axis: | E1 = ± (1,9 + L/200) µm |
| 1D Y-Axis: | E1 = ± (2,4 + L/150) µm |
| 1D Z-Axis: | E1 = ± (2,9 + L/100) µm |
| 2-Stufen-Zoom mit elektonischer Vergrößerungsumschaltung | |
| Fokusierender Laser Sensor FLS | |
| Fokusierendes Lasersystem zum schnellen Abtasten von Flächen | |
| Mechanischer Renishaw-Taster TP200 | |