Messgerät in Tischausführung mit Grundplatte aus Granit und separatem Schaltschrank. Alle Achsen sind mit hochgenauen Linearführungen versehen und werden über spielfreie Präzisionsspindeln im Massenschwerpunkt angetrieben. Der Antrieb erfolgt über DC-Servomotoren.
| Messbereich | |
| X | 600 mm |
| Y | 600 mm |
| Z | 200 mm |
| Max. Ladegewicht Glasplatte | 40 kg |
| Messunsicherheit nach VDI/VDE 2617 (L=Messlänge in mm) | |
| 1D X, Y oder Z-Achse: | E1 = ± (1,9 + L/200) µm |
| 2D X und Y, Z und Y oder Z und X: | E2 = ± (2,4 + L/150) µm |
| 3D X/Y/Z-Achse: | E3 = ± (2.9 + L/100) µm |
| 2-Stufen-Zoom mit elektronischer Vergrößerungsumschaltung | |
| Fokus Laser Sensor FLS | |
| Lasermesssystem mit großem Messbereich zum schnellen Fokussieren und Abtasten von Flächen |
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| Mechanischer Taster Renishaw TP200 | |